環(huán)球今熱點(diǎn)：天準(zhǔn)科技：Muetec的掩膜檢測(cè)設(shè)備可以覆蓋65-90nm工藝 目前尚未達(dá)到EUV掩膜檢測(cè)設(shè)備的精度
來(lái)源：每日經(jīng)濟(jì)新聞 時(shí)間：2023-05-29 19:16:28
【資料圖】
每經(jīng)AI快訊，有投資者在投資者互動(dòng)平臺(tái)提問(wèn)：日本對(duì)euv掩膜版設(shè)備進(jìn)行了限制，MueTec的掩膜版檢測(cè)設(shè)備能否進(jìn)行國(guó)產(chǎn)替代？
天準(zhǔn)科技（688003.SH）5月29日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，Muetec的掩膜檢測(cè)設(shè)備已經(jīng)可以覆蓋65-90nm工藝，目前尚未達(dá)到EUV掩膜檢測(cè)設(shè)備的精度。
（文章來(lái)源：每日經(jīng)濟(jì)新聞）
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