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技術(shù)參數(shù)； 真空腔體 類型 高溫室溫到 400℃ 低溫室溫到-190℃ 非標(biāo)定做 腔體材質(zhì) 鋁合金 腔體內(nèi)尺寸 167mmX57mmX33mm 腔體重量 約 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） 腔體抽氣口 KF16 法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） 腔體進(jìn)氣口 公制 3mm 6mm 氣管接頭 英制 1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋氣冷 腔體水冷接口 6mm 快擰 或 6mm 快插 腔體正壓 ≤ 腔體真空度 機(jī)械泵≤5Pa （5 分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30 分鐘）
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